不少人都想知道纳米IC制造工艺-第17章（良率改进）和一些关于dly是什么意思的题，下面让小编来为你分享一下吧！
产量提高简介
第1711章产量的基础知识
1.产量的基本定义和扩展
半导体生产和制造的各个方面都可能导致最终产品出现故障。良率是量化失败的指标，通常是流程改进的最重要指标。图171显示了半导体生产工艺的各种良率。
在半导体制造中，良率定义为
产量可以根据芯片、晶圆或批次来定义。
为晶圆或批次定义的良率通常反映生产过程中的控制题，例如操作员故障和设备故障，通常也称为生产线良率。例如，如果生产线上有1000片晶圆，其中20片因各种原因被废弃，则生产线良率将为98。
为芯片定义的成品率通常反映了生产过程中的物理缺陷或过程参数偏离规格的偏差，从而导致产品电气性能出现错误。例如，如果晶圆上有1,000个芯片，其中800个可以通过所有电气测试，则芯片良率为80。本章中，除非另有说明，良率均指片良率。
扩大良率定义MPW晶圆允许将多种产品放置在同一个光掩模组上。如图172所示，光掩模组中有三个产品a、b和c。浅色表示通过测试，深色表示未通过测试。那么，如果按照产品分类来计算产量，则a、b、c的产量分别为50、75、75。
总体而言，光罩成品率为25。
对于非产品测试芯片来说，一颗芯片上往往有多个测试结构。设计和分析考虑因素通常需要根据DUT的特性进行良率计算。
如图173所示，一个芯片有四个DUT组，每组都是相同类型的两个相邻设计。
图173几种测试结构的晶圆图
如果这些DUT不区分的话，结构良率可以是781，芯片良率可以是25。
仅检查每个片左下角设置的DUT，结构良率为75，片良率为50。
2.缺陷密度和良率模型
良率是工艺成熟度的直观指标，但在半导体制造中直接评价工艺质量存在很多局限性。
如图174所示，相同的工艺缺陷可能会导致不同产品的不同良率损失。因此，大面积的产品会受到很大的影响。因此，用良率来衡量各种产品的工艺成熟度并不客观。为此，引入了缺陷密度的概念。D0的定义是单位面积的缺陷数。这仅与流程相关，与产品领域无关。这里的缺陷是指产品最终电气测试中反映的缺陷，并不特指过程中的物理缺陷。
D0可以用于不同产品、不同工艺、甚至不同生产线之间的比较。常用单位为单位/in2或单位/cm2。
使用D0，还应该与产品的良率挂钩，这样可以对产品做出合理的良率预测，并为工艺改进提供指导。
广泛使用的产量模型是玻色-爱因斯坦模型。
这里，A是产品的面积，单位是in2。D0的单位是/cm2。n是过程复杂性的指标。n在数值上等于每个过程层的复杂度之和。
关键层故障敏感性高、复杂性高1.
正常层，缺陷敏感度，复杂度为05。
非关键层故障敏感性低，复杂度为025。
其他非关键层的故障敏感性非常低，复杂度为零。
另一种广泛使用的产量模型是泊松模型。
其中A为产品面积（cm2）。D0的单位是/cm2。
通常，B-E模型的n在12到14之间，1in2约为65cm2，因此泊松模型的D0值往往是B-E模型的两倍左右。使用D0进行比较时，请注意了解所使用的模型，以避免混淆。
上述两个模型都隐含地假设缺陷是随机分布的。两个模型都表明，在相同的缺陷密度下，面积较大的产品良率较低。
B-E模型或泊松模型的明显缺点是它没有考虑设计因素。如图175所示，相同的缺陷在不同的设计中可能导致不同的失效概率。因此，需要更科学的良率模型来指导工艺改进。
三。核心领域介绍
传统良率模型的一个重要隐含假设是所有缺陷都是致命缺陷。现实情况显然并非如此。
如图176所示，即使一定尺寸的缺陷落在晶圆上，任何区域都不会出现缺陷。为了简化题，我们假设缺陷是圆形的，如果只检查缺陷中心所在的部分，就可以看到发生了短路。图中出现短路。
通过此，可以将物理缺陷的中心，即导致电气故障的区域定义为关键区域。实际产品的关键部分如图177所示。
通过分析产品各工艺层的临界面积曲线，结合工艺的缺陷尺寸分布，可以基于临界面积进行建模。该良率模型考虑了设计/工艺的相互作用，可以有效指导工艺改进/设计完善。
4.产量学习率评估
从产品开发到量产的良率学习的主要阶段如图178所示。
产品设计和工艺研发阶段重点是建立和优化装置/工艺流程以及各种在线和离线良率观察方法。
良率改进阶段的重点是识别和解决过程中的系统故障题，并降低随机缺陷的密度。
在批量生产阶段，我们专注于流程管理和新产品推出。前者要求减少各种异常事件，快速诊断题，减少重大工艺偏差，后者要求确定工艺条件，检测和改进设计和工艺交叉弱点等。
对于先进的半导体工艺，从最初的研发到量产的时间可能需要几个季度甚至更长。较低的良率不仅意味着较高的单位芯片成本，而且还意味着较低的产品价格竞争力，这往往意味着不成熟的工艺线和产品可靠性的潜在风险，从而可能导致产品无法进入市场。低产量和延长上市时间可能会导致错失商机。对于一家大型半导体公司来说，四分之一的时间差异可能意味着数十亿美元的收入差异。
不同公司的良率提升曲线的差异并不是简单的学习能力的差异，而是综合反映了公司认识和解决题的体系、方法和理念。
客观评估产线良率提升速度和良率学习效率，为企业发展提供战略指导。
由于良率受产品面积、工艺成熟度等因素影响，无法客观评估，因此使用D0来衡量是更科学的方法。D0时间序列回归的ARIMA模型是一个更有效的模型。
D0随着时间的推移呈现下降趋势，如图179所示，最终收敛于固定的Df附近。
一般来说
其中，D0[n]代表第n个月的D0，Df代表成熟过程的缺陷密度。一般来说，Df取决于良率学习系统的缺陷观察能力。是学习率，通常学习率在08和1之间。典型值为09，这意味着缺陷密度每月减少约10个。
1712故障机制
1、失效机理分类
根据故障的性质，过程引起的产量损失可以分为两类参数故障和功能故障。功能故障通常被认为是由物理缺陷引起的，通常被称为硬故障或缺陷故障，而参数故障被定义为设备电气参数的变化，它们通常是由非优化或失灵引起的。-规格漂移，通常称为故障故障。这称为软故障。
根据晶圆表面的空间分布特征，功能性失效可分为随机性失效和系统性失效。
如果我们认为参数、随机和系统失效机制是相互独立的，那么成品率可以分解为三部分的乘积。
参数失效特征还可以根据其空间分布分为随机失效和系统失效，因此分类之间可能会出现交叉，如图1710所示。本章中，为了便于计算和理解失效机理，除非另有说明，随机失效特指随机缺陷失效，系统失效特指系统缺陷失效。
2、参数故障
一般是指由于参数测试未通过而产生的错误，例如芯片工作频率低于额定工作电压Vdd或静态功耗超过额定范围等。
参数化常常会失败，并且空间分布中存在连续、渐变的图形特征模式。同时，他们往往对特定的设备参数非常敏感。
从右向左看，如图1711所示，在binmap中可以清楚地看到参数误差随Vt增加而逐渐增加的过程。
参数误差的来源通常可以通过参数bin良率和器件参数之间的相关性分析来找到，如图1712所示。
三。缺陷——随机和系统缺陷
故障通常会导致功能测试失败，例如存储器读写异常、逻辑电路运算结果错误等。导致错误的缺陷可能可见，也可能不可见，具体取决于来源。参见图1713。
从空间分布特征来看，可能是随机分布，也可能具有某种系统性特征。系统性缺陷通常表示晶圆上的簇故障或强烈的空间图案。随机缺陷通常不表现出聚集效应。
图1714典型随机和系统误差晶圆图。
随机故障通常与设备有关。通常，对于成熟的工艺，D0处于相对稳定的水平，并且产品之间的差异相对较小。
当流程结构发生变化、现有流程结构接近其极限或新流程结构尚未成熟时，通常会出现系统性缺陷。失败具有很强的条件相关性。即在一定条件下一定会发生或者很有可能发生。这通常与布局特征具有很强的相关性，并且可以导致产品相关性。由于不成熟的流程而导致的系统错误如图1715所示。
缺陷原因分析一般可以通过生产线缺陷检查或机器共性分析来发现。
如图1716所示，通过比较bin图和内联缺陷图可以找到过程中缺陷的原因。工具共性分析使您能够识别并改进有题的设备。
4.更多的
在半导体制造中，由偶然事件引起的芯片缺陷称为异常。例如，离子注入剂量控制则不然。
以“dly”结尾的单词不太常见，但这里有一些例子。第一个是“Friendly”，友善的意思，表示性格善良、热情。
接下来是“适当”，意思是根据期望、规定或礼仪适当地或适当地做某事。
接下来是“日常”，意思是每天都会发生或发生的事情。
最后，“有序”是有秩序的意思，指按照一定的制度或方法组织或管理的情况。这些词都有自己的含义和用法，但它们都以“dly”结尾，代表不同的概念。
一、dly什么意思染发？
意思是自己做。
dly是“DoItYourself”的英文缩写，意思是自己动手做。
DIY最初是从组装电脑开始，逐渐发展成为一种流行的生活方式。简而言之，DIY不受专业资格的，它允许任何人创造表达自己的定制产品。“产品”来了。
二、DLY是什么意思阿？
1、DLY是一种由梦想、学习、青春组成的精神。它可能是某人名字的缩写，象征着这个人需要努力工作，有动力去追求自己的梦想，努力学习，利用自己的青春和活力，最终获得成功。
2、魔兽世界中职业名称的缩写，正式名称德鲁伊。
3.DLY是Delay的缩写。在配置路由器或交换机等网络设备并查看接口配置或状态时，DLY通常指接口延迟（以微秒为单位）。通常，快速以太网接口的延迟为100微秒，串行端口的延迟为20,000微秒。扩展信息1.精灵DLY是由DdreamLearnedYyoung组成的精灵。魔兽世界技术名称的缩写，正式名称德鲁伊3。DLY是Delay的缩写。在配置路由器或交换机等网络设备时，查看接口配置或状态时，DLY是指接口的延迟，单位通常为微秒。通常，快速以太网接口的延迟为100微秒，串行端口的延迟为20,000微秒。
4、杂交猪DLY三元杂交猪是采用国外进口的长白公猪、约克公猪、杜洛克公猪进行三元杂交生产的商品猪。这种方法涉及将长白公猪与约克公猪杂交。然后将产生的母猪与杜洛克公猪杂交，称为DLY或DYL杂交猪。DLY三元杂交猪具有生长速度快、饲料转化率高、瘦肉率高、肉质优良的特点。标准化育肥场饲养的杜大三元商品猪生长速度快。1、平均日增重720-800g，饲料补偿高，料肉比2-4-2-6:1。瘦肉率高平均可达63以上，背膘厚度1-5-2-0厘米。3、臀部丰满度好后躯占胴体的32%，前腿和后躯占45%。
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